半导体微电子行业的全氟PFA折叠滤芯

全氟PFA系列滤芯采用高洁净度的PTFE膜和 PFA氟材料制作，类氟PFG系列滤芯采用高洁净度的PTFE膜和 ECTFE/PVDF支撑和PVDF骨架材料热熔合制作。

主要特点 Key Features

1. 几乎能耐受所有的化学试剂和腐蚀类的流体，并能在高温环境中使用;

2. 特殊的折叠结构增加了过滤面积，高流速低压差，延长了使用寿命。

3. 能提供预过滤和精过滤的各种过滤精度，生产时100%进行完整性检测。

典型应用 Typical Applications

1. 半导体微电子行业的强腐蚀性酸、碱、光刻胶、电镀液、混合酸和气体等过滤;

2. 医药中间体/化工行业的各种腐蚀性化学试剂和气体的预过滤和精过滤等;

3. 食品饮料行业中臭氧和强氧化性气体和液体等过滤。

工作条件 Operating Conditions

1. 最高工作温度:1.2 bar@190°C;19 bar @120°C;

2. 灭菌温度:121°C 30 min

3. 推荐更换压差:2.0bar@25°C

4. 最大正压差:4.3 bar@25°C;5.0bar@25°C;

5. 最大反压差:3.0 bar@25°C,3.2bar@25°C

材料结构 Material Construction

1. 过滤介质:聚四氟乙烯PTFE

2. 支撑材料:PFA/PTFE:PVDF/ECTFE

3. 滤芯骨架:PFA，PVDF

4. 密封圈:见订购信息表

5. 密闭方式:热熔合

6. 金属溶出:<25ug/10"，总溶出物≤15mg/10"

7. 颗粒脱落:<15个/10 ml (≥0.2 um @5L/min DI 水)

8. TOC恢复:<10 ppb冲洗后(120L@1L/min)

主要性能参数 Key Specifications

1. 过滤精度:0.03,0.05,0.1,0.2,0.45,1.0,5.0 (um)

2. 滤芯直径:外径:68mm

3. 过滤面积:≥0.5m2/10"