光刻胶、电镀液过滤用的PFG/ECTFE折叠滤芯

EC系列半氟滤芯采用PVDF外壳及支撑层，ECTFE熔喷布为过滤层，其深层过滤特点极大延长过滤寿命，特别适用于腐蚀性，氧化性和高温条件下高固含量试剂的过滤。

主要特点 Key Features

1. 广泛的化学兼容性

2. 高孔隙率的高流速，具有极高使用寿命

3. 高截留效率

4. 可提供多种规格尺寸

典型应用 Typical Applications

1. 半导体微电子行业的强腐蚀性酸、碱、光刻胶、电镀液、混合酸和气体等过滤;

2. 医药中间体/化工行业的各种腐蚀性化学试剂和气体的预过滤和精过滤等;

3. 食品饮料行业中臭氧和强氧化性气体和液体等过滤。

工作条件 Operating Conditions

1. 最高工作温度:0.9Mpa@120°C

2. 最大正压差:0.52Mpa@25°C

3. 最大反压差:0.30Mpa@25°C

材料结构Material Construction

1. 过滤介质:ECTFE

2. 支撑材料:PFA/PTFE:PVDF/ECTFE

3. 滤芯骨架:PFA，PVDF密封圈:见订购信息表

4. 密闭方式:热熔合

5. 金属溶出:<25ug/10"，总溶出物≤15mg/10"

6. 颗粒脱落:<15个/10 ml (≥0.2 um @5L/min DI 水)

7. TOC恢复:<10 ppb冲洗后(120L@1L/min)

主要性能参数 Key Specifications

1. 过滤精度:5.0、10、20、25(um

2. 滤芯直径外径:68mm

3. 过滤面积 ≥0.6m2/10"