强酸强碱过滤系统配置方案与关键参数

半导体5nm制程过滤系统配置制程过滤系统配置

系统架构系统架构：

预过滤：Φ68mm PP滤芯，5μm精度，处理量500L/h

精过滤：Φ83mm PES滤芯，0.22μm精度，处理量200L/h

终端过滤：Φ68mm PFA滤芯，0.1μm精度，处理量50L/h

关键参数：

压差控制：终端过滤压差<0.03MPa，精过滤压差<0.1MPa，预过滤压差<0.05MPa

流量分配：遵循"流量与压差平方根成正比"公式，确保各级滤芯在合理压差范围内工作

温度要求：过滤液温度控制在25-80℃，避免高温加速滤材老化

泵选型泵选型：推荐CQB-F型氟塑料磁力泵，耐温达90℃，适用强酸（如98%硫酸）和强碱（如50%

NaOH），流量0.8-25m³/h，扬程3-40m

密封要求：采用氟橡胶密封件，定期检查更换，防止泄漏

材料选型依据：

终端过滤选用PFA滤芯，因其金属离子析出率<0.1ppb，符合半导体超纯液体标准

PES精过滤芯在pH全范围内表现稳定，且内毒素水平低，适合药液过滤

PP预过滤芯成本效益好，可有效拦截大颗粒，保护后续精密滤芯