在线式气体过滤器

产品描述 Description

在线式气体过滤器，专为超高纯度气体过滤应用而设计。过滤器采用2层PTFE滤膜，对干燥气体的过滤精度达到0.003m。独特的结构设计，即使在高流量情况下，仍能保持较低的压力损失。

另外，该过滤器具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，特别推荐用于惰性气体和反应性气体。

产品特点Features &Benefits

• 316L不锈钢电解抛光壳体

• 全氟内芯

• 优秀的化学兼容性

• 结构紧凑，易于安装

• 耐受高温、高压工作环境

• 洁净室制作、包装

• 100%完整性测试

• 100%氮气泄露检测

• SemiF20超纯不锈钢壳体(可选)

主要特点

典型应用

材料结构

主要性能参数

工作条件

滤芯订购信息