半导体在线式气体过滤器

产品描述 Description

Kinda FiltrationXL在线式气体过滤器专门针对半导体气体过滤而设计。过滤器采用2层PTFE滤膜，对干燥气体的过滤精度达到0.003um。高纯度全氟聚合物内芯，提供了优秀的化学兼容性，适合关键半导体工艺气体应用。推荐用于半导体制程惰性气体、特殊气体过滤。独特的过滤器结构设计，在更高的流量时，仍具有较低的压力损失。

产品特点 Features & Benefits

• 316L不锈钢电解抛光壳体结构紧凑，易于安装

• 全氟内件

• 优秀的化学兼容性

• 耐受高温、高压工作环境

• 洁净室制作、包装

• 100%完整性测试

• 100%氦气泄露检测

• SemiF20超纯不锈钢壳体(可选)

主要特点

典型应用

材料结构

主要性能参数

工作条件

滤芯订购信息